萬級無塵室等級標準

依據美國聯邦政府頒布的標準[Federal Standard (FS) 209E, 1992]，可將無塵室分為六級。

分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。

如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5µm，例如，1級、10級、100級無塵室*大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5µm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。

例如：10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75顆/立方英)，1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35顆/立方英)而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。

為保持無塵室的潔凈度，進出的人員有一定的穿著規定；10000與100000級，必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級(含)以上，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩，下表為無塵室清潔度的定義：

所謂的無塵室是一個人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路技術的快速成長，也增加了對制造環境(無塵室)潔靜度的需求，在工業上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。

由于奈米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。